我国建成首套高精度圆度基准装置,填补量值溯源空白


2026年7月7日,国建我国首套高精度圆度基准装置正式建成并投入运行。成首这一里程碑式的套高填补成果不仅填补了国内圆度量值溯源体系的空白,更标志着我国在高精度圆度测量领域实现重大突破,精度基准整体技术水平正式跻身国际先进行列。圆度
该装置精准对接航空航天、装置高端数控机床、量值先进光学系统及半导体制造等关键战略产业需求,溯源提供稳定、空白可靠且高精度的国建量值溯源保障。作为几何量形位公差体系中的成首核心基础参数,圆度的套高填补测量精度直接关乎精密主轴的运行稳定性、先进光学元件的精度基准成像质量,以及半导体芯片制造的圆度良率与装配精度。
长期以来,装置尽管我国已建立平面度等几何量计量基准,但国家级圆度量值溯源源头的缺失,导致高端装备研发与制造面临技术受制于人的风险,成为制约产业自主可控与高质量发展的突出瓶颈。
此次建成的高精度圆度基准装置深度融合多项自主创新技术,成功攻克高准确度圆度评定、主轴误差分离、滤波一致性控制等国际公认的技术难题。装置首创基于高准确度圆度滤波与全效数据利用的圆度计算模型,显著提升了标准半球分离后轮廓重构的稳定性与重复性。同时,自主研发的新型误差分离方法有效抑制了主轴回转误差,将圆度测量不确定度从20纳米大幅降低至6纳米,达到国际先进水平。
至此,我国在高准确度圆度测量的若干核心环节实现了关键技术自主可控,彻底打破了长期依赖进口技术的局面,为相关领域的全面国产化替代奠定了坚实可靠的技术基础。
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